全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在湖北下线
近日,全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆,在湖北九峰山实验室下线。
8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆,是目前全球综合性能最优的光电集成芯片。薄膜铌酸锂以低传输损耗等突出性能,在滤波器、光通讯、量子通信、航空航天等领域均发挥着重要作用。但由于铌酸锂材料脆性大,尺寸越大越难制作,目前,业界对薄膜铌酸锂的研发主要集中在3寸、4寸以及6寸晶圆,这次下线的8寸晶圆,属全球首片。该成果由九峰山实验室联合重要产业合作伙伴开发,将尽快实现产业商用。
湖北九峰山实验室工艺中心总经理柳俊:“技术上还确实是全球领先,在工艺和设计上应该都是比较独特的,也算是一个全新的技术。”
(长江云新闻记者 王丹 王俊)