台积电确认1.4nm制程代号为A14，预计2027年启动风险试产、2028年量产，采用第二代GAA纳米片晶体管与NanoFlex Pro架构，在性能、功耗和逻辑密度上较2nm提升15%、降低30%、提高超20%。
该工艺初期良率或仅20%，依托现有低NA EUV设备+多重曝光实现成本可控，规避高NA光刻机供应风险；后续将分阶段导入高NA EUV，并于2029年推出带背面供电的A14P增强版本。
台积电在台湾中部科学园区新建四座1.4nm工厂，总投资1.5万亿新台币，首年目标营收160亿美元；苹果、英伟达等巨头大概率优先采用，此举将加速AI芯片、自动驾驶等领域算力升级，并加剧与三星、英特尔的埃米级技术竞争。
